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齒式真空泵/壓縮機與羅茨真空泵/壓縮機類似，具有結構簡單、可靠性高、維護方便且成本低的特點，但它具有內壓縮過程，因此能耗小（比羅茨鼓風機節能高達20％），排氣溫度低（壓比為2時，溫度低15℃），單級升壓高（單級升壓高達2bar），是羅茨真空泵/鼓風機理想的節能替代產品。西安交通大學壓縮機研究所掌握了齒式真空泵/壓縮機的型線設計、孔口布置等關鍵技術，并已和企業聯合開發出單級壓力比達到3的齒式壓縮機，并通過了產品鑒定。目前該產品已經在石化、水泥罐裝、氣力輸送、污水處理等領域得到應用（壓力比在1.6～3的范圍該產品節能優勢明顯）。

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